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  • 江蘇微導納米裝備科技有限公司

    微導ALD設備研發入選2016年江蘇省重點研發計劃項目
    所屬欄目:新聞發布  日期:2016-09-29 11:00:00 點擊次數:
    經過嚴格的的評選,江蘇微導納米裝備科技有限公司的《基于原子層沉積(ALD)技術的微納器件制造關鍵技術研發》項目,入選“2016年江蘇省重點研發計劃(產業前瞻與共性關鍵技術)項目”。

    微導正在開展的原子層沉積(ALD)設備具有產業前瞻性,產品技術性能達到行業領先水平,打破國外壟斷,填補了國內高性能微納器件制造技術空白,降低國內微納器件制造商的投資成本,加快微納器件快速產業化發展。

    同時,ALD關鍵技術的成功攻關,將促進多個工業領域包括半導體,CMOS圖像傳感器,LED,MEMS,顯示器,光伏和鋰離子電池的產業化發展,為社會提供大量工作崗位,提升社會就業率,為民增收。同時提升我國在納米材料及器件行業的國際地位,形成高附加值原子層沉積工藝設備產業集群,并對推動我國納米材料及器件制造水平快速發展具有重要意義。
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